010-61590500
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  • SID4-UV-HR波前传感器
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  • SID4-UV-HR波前传感器

           基于Phasics的独家专利技术,SID4 UV-HR波前传感器可在190 nm至400 nm的紫外波段提供无与伦比的高相位分辨率(355x280取样分辨率)和极高的相位灵敏度(优于1 nm RMS)。 因此,SID4 UV-HR非常适合用于光刻,半导体等领域的光学组件表征和表面面型检测(透镜和晶圆等)。

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商品描述

       基于Phasics的独家专利技术,SID4 UV-HR波前传感器可在190 nm至400 nm的紫外波段提供无与伦比的高相位分辨率(355x280取样分辨率)和极高的相位灵敏度(优于1 nm RMS)。 因此,SID4 UV-HR非常适合用于光刻,半导体等领域的光学组件表征和表面面型检测(透镜和晶圆等)。


主要特点

最低至190nm波长感光灵敏

1  nm RMS高相位灵敏度

355 x 280超高相位取样分辨率



产品规格


波长范围190 - 400 nm
靶面尺寸13.8 x 10.88 mm²
空间分辨率38.88 µm
取样分辨率355 x 280
相位分辨率1 nm RMS
绝对精度10 nm RMS
取样速度30 fps
实时处理速度*> 3 fps (全分辨率下)*
接口种类CameraLink
尺寸(宽x高x长)78 x 88.1 x 70.8 mm
重量约575g



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